Оптикалық телекоммуникациялар институты лазерлік беткі қабаттар мен микро-оптикалық құрылғыларды жасау үшін ионды сәулелерді шашырату жүйесіне тапсырыс береді.
HHI Veeco компаниясының IBS технологиясын лазерлік қаптамалар жасау үшін қолданады.
Veeco аспаптары өзінің Spector Ion Beam Sputtering (IBS) жүйесі мен Sirius Optical Monitor жүйесін жіберді Фраунгофер институты Телекоммуникация(HHI).
Германияның Берлин қаласында орналасқан институт осы IBS технологиясын «лазерлік бет жабындарын және басқа микро-оптикалық құрылғыларды әзірлеу және шығару үшін» қолданатындығын мәлімдеді.
«Күрделі микро-оптикалық құрылғыларды жасау үшін шашыратудың ерекше технологиясы қажет», - деп түсіндірді Фраунхофердің артқы және орауыш тобының жетекшісі Грета Роперс.
«Veeco's Spector жүйесі Sirius OMS-пен біріктірілген, біз автоматтандырылған, белгіленген платформада ең жоғары өткізу қабілеттілігі мен процестің қайталанғыштығы бар әлемдік деңгейдегі құрылғыларды жасап шығаруды қамтамасыз етеміз».
Оптикалық жұқа қабықшалар
Spector платформасы жоғары сапалы оптикалық жұқа қабықшалар шығарады, олардың өнімділігі мен өткізу қабілеті деңгейлері жоғарылайды, тапсырыс берушілердің айтуы бойынша. Буландырғыш жабындардан айырмашылығы, ион сәулесінің шашыраңқы жұқа қабықшалары лазерлік жабуға арналған қалыңдықты бақылау және ақаудың төмен тығыздығын қамтамасыз ете отырып, жоғары энергияға жинақталады, ал Сириус OMS кең жолақты бақылауды ионды сәулеленген қабықшалардың тұрақтылығымен байланыстыра отырып, Spector платформасының қабілетін арттырады. .
«Fraunhofer HHI дүниежүзілік көшбасшысы лазерлік беткі қабаттар мен микро-оптикалық құрылғыларды жасау бойынша көшбасшы», - дейді доктор Адриан Девасахаям, Veeco компаниясының Advanced Deposition and Etch (AD&E) бизнесінің вице-президенті және бас менеджері. «Spector жүйесі дәлдігі жоғары оптикалық қаптаманың жұқа қабықшалары үшін теңдесі жоқ сапа мен икемділікті қамтамасыз етеді және олардың даму мақсаттарын жеделдетеді».
Бұл жобаны қаржыландыру Forschungsfabrik Mikroelektronik, Fraunhofer Group құрамындағы он бір институтқа және жоғары өнімді микроэлектроникаға арналған инновацияларға және Фердинанд-Браун-Институтқа, Лейбниц-Институт фюр Хёхстфреквензтехникке қауіп төндіретін микроэлектроника мен наноэлектроникаға арналған ғылыми-зерттеу фабрикасы. Жүйе Veeco компаниясының еуропалық серіктесімен бірге сатылды,Veonis Technologies.
Хабарлама уақыты: 31 қазан 2019 ж